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日本小坂KOSAKA 輪廓儀 | 輪廓形狀測定機EF651D特點
★ 采用數字式傳感器、執行高精度的輪廓形狀評價。
★ 多種解析功能：方位向量解析、滾珠螺桿解析、非球面解析。
★ 測定資料圖表可自由編組表格。
日本小坂KOSAKA 輪廓儀 | 輪廓形狀測定機EF651D產品參數
| 測定范圍 | Z:60mm X: 100mm |
| 測定精度 | 士(0.8+2H/100)um |
| 觸針/測定力 | R25um 30mN以下 |
| 測定角度 | 上坡77° 下坡87° |
| 解析 | 要素解析/方位向量/MASTER比較/ 滾珠螺桿/非球面解析 |
| 分解能 | Z:0.025um |
| 直線度精度 | 1.0um/100mm |
